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       多晶硅項(xiàng)目生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的含氯有機(jī)廢液，廢液經(jīng)廢液噴槍送至焚燒爐充分燃燒，焚燒產(chǎn)生的煙氣經(jīng)余熱鍋爐回收熱能并經(jīng)過除塵脫酸處理后排放到大氣，同時還可以回收高濃度的氯化氫溶液；含氟項(xiàng)目生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的含氟有機(jī)廢液，廢液經(jīng)焚燒爐充分燃燒，焚燒產(chǎn)生的煙氣經(jīng)余熱鍋爐回收熱能并經(jīng)過除塵脫酸處理后排放到大氣，同時還可以回收高濃度的氟化氫溶液。

多晶硅含氯（氟）廢液焚燒特點(diǎn)：

         1、焚燒爐本體采用立式爐結(jié)構(gòu)，可以減少爐本體的占地面積，同臥式爐 相比，立式爐結(jié)構(gòu)改變了耐火材料的受力狀況，完全避免了耐火材料在高溫情 況下可能出現(xiàn)的爆裂和坍塌現(xiàn)象。

         2、焚燒爐本體采用立式爐結(jié)構(gòu)，底部設(shè)有沉降室，使得焚燒過程中產(chǎn)生 的部分Si02等粉塵能夠在爐本體內(nèi)收集，減少煙氣帶出的粉塵置，減少后續(xù)設(shè) 備的壓力。

         3、爐體燃燒根據(jù)3TIE（溫度、時間、渦流、過剩系數(shù)）原則設(shè)計(jì)，確保 廢液在爐本體燃燒室內(nèi)充分氧化、熱解、燃燒，使有機(jī)物破壞去除率達(dá)到九成以上。

         4、廢液和助燃空氣在焚燒爐內(nèi)切向混合，其混合程度好、湍流度高、燃 燒速度及效率高，過?？諝庀禂?shù)低，可節(jié)約燃料。

         5、爐體整體溫度分布為低一高一低，頂部燃燒陶瓷部處于相對低溫部 800℃左右可較好地保護(hù)各個燒嘴。延長燒嘴使用壽命。

         6、穩(wěn)定性高一設(shè)有啟動前不排除易爆氣體就不能點(diǎn)火的功能，以防氣爆， 爐內(nèi)設(shè)有火焰檢知器，一旦爐內(nèi)發(fā)生熄火或點(diǎn)火失敗，立即自動切斷廢液供 給，報(bào)警系統(tǒng)完善，使用可靠

         7、為確保系統(tǒng)安全．在爐體內(nèi)設(shè)有度明燈性質(zhì)的小型燃燒器，避免廢液 進(jìn)料時因可能出現(xiàn)的不穩(wěn)定，而產(chǎn)生突然熄火，后又起火的現(xiàn)象，較大限度杜 絕氣爆現(xiàn)象發(fā)生。

         8、所有進(jìn)料管路設(shè)有氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)確保整個系統(tǒng)不殘留可燃?xì)怏w，確保 系統(tǒng)正常。

         9、采用多項(xiàng)技術(shù)，使設(shè)備簡化，易于維修，并降低了運(yùn)行成本。

        10、充分考慮廢液焚燒后的廢熱利用，可產(chǎn)生蒸汽供生產(chǎn)使用。

        11、充分考慮廢液焚燒后回收高濃度的酸溶液（濃度可達(dá)20%-25%）同時可以處理含氯（氟）廢氣。